Zložený vákuový merač ZDF-62B5 sa skladá z 2 sád jednotiek nízkeho vákua a 1 sady jednotiek s vysokým vákuom. Na dosiahnutie merania (1,0 × 10E5Pa) sa používa jedna jednotka odporového meradla (RG 2)~1,0 × 10E-7 Pa) nezávisle, jednotkou odporového meradla (RG1) v kombinácii s ionizačným meradlom ako zloženou jednotkou je dosiahnuť kontinuálnu kontrolu a meranie (1 × 10E5~1 × 10E-7 Pa).