Výhody:
Táto séria čerpadiel má dobrý výkon v náročnom prostredí (vysoké teploty, prach, atď.), Je stabilný vo výkone a má dlhú životnosť, jednoduchú údržbu a pohodlnú obsluhu.
Aplikácie:
Hlavnými aplikáciami sú priemyselná detekcia netesností, PVD, CVD, iónová implantácia, výroba vákuových elektronických súčiastok, sklo s nízkym E, sklo ITO, optické povlaky, solárne články, zváranie elektrónovým lúčom, vákuová pec a ďalšie priemyselné odvetvia
Technické údaje:
Príruba (V) | DN400 ISO-K | Plyn po celú dobu (sccm) | N25500 |
Príruba, von, KF | DN100 | Má 4000 | |
Rýchlosť čerpania (l/s) | N23500 | H23200 | |
Má 2650 | Ar : 2100 | ||
H280 1280 | Rýchlosť otáčania (ot / min) | 13500 | |
Ar : 3200 | Čas rozbehu, min. | ≤18 | |
Pomer kompresie | N2: 108 | Typ chladenia, štandard | Voda |
Má 103 | Spotreba chladiacej vody (l/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Teplota chladiacej vody (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Napájanie: napätie (V AC) | DC24/AC220 | |
Maximálny tlak (Pa) | 6 × 10-6 | Max. Spotreba energie (W) | ≤ 1100 |
Max. Nepretržitý tlak pred vákuom (Pa) | 100 | Model ovládača | FD-III |
Max. Predtlakový tlak | N2300 | Hmotnosť (kg) | 130 |