Magneticky levitované čerpadlo, CXF-320/3001E, vodné chladenie, ISO-F, na palube

Stručný opis:

Elektromagnetické ložisko sa nazýva aj „aktívne magnetické levitované medvede“ a pozostáva z magnetického ložiska, snímača a riadiaceho systému. Tento dizajn má dynamickú odozvu a včasné nastavenie, vysokorýchlostný hriadeľ a spoľahlivú prevádzku.


Detail produktu

Štítky produktu

Magneticky levitované molekulárne pumpy sú čerpadlá, ktorých hriadeľ je podporovaný magnetickou silou.
Magneticky levitované molekulárne pumpy série sú zariadenie na generovanie vákua vyvinuté spoločnosťou KYKY na splnenie požiadaviek aplikácií v oblastiach modernej výroby polovodičov, výroby čipov, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov.

Výhody:

1. Nulové trenie počas prevádzky a nízka spotreba energie
2. Jednoduché získanie skutočne čistého vysokého vákua a ultra vysokého vákua bez mazania čerpadiel
3. schopné dlhodobého odsávania korozívnych plynov
4. Vysoká bezpečnosť a dlhá životnosť vďaka ochrane ložísk presnými keramickými guličkami
5. funkcia generujúca energiu v prípade náhleho vypnutia
6. Bez trenia
7. Bez znečistenia
8. Bezúdržbový
9. Nízke vibrácie
10. inštalované v akejkoľvek orientácii.

Aplikácie:

Sériové magneticky levitované molekulárne pumpy sa používajú hlavne v oblastiach výroby polovodičov, výroby svoriek, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov, najmä na extrakciu korozívnych plynov existujúcich v implantáciách leptov, CVD, PVD a iónov a plynov ľahko koagulovateľných pri normálnej teplote.

Technické údaje:

Model CXF-320/3001E
Rýchlosť čerpadla (l/s, vzduch) 3200
Pomer kompresie > 1 × 108
Maximálne vákuum (Pa) ≤5 × 10-7
Vstupná príruba ISO-F 320
Výstupná príruba KF 40
Rýchlosť otáčania (ot / min) 24000
Čas rozbehu (min) 12
VIB (mm) <0,05
Spätné čerpadlo (L/s) 15
Montáž alebo razenie akýkoľvek
Spôsob chladenia Voda
Hmotnosť (kg) (s ovládačom) 75

Technológie:

  • Technológia riadenia magnetického ložiska: 5-osový magneticky levitovaný, založený na pokročilej medzinárodnej teórii riadenia, aby zaručil také významné výhody vysokorýchlostného hriadeľa, ako je stabilná levitovaná a spoľahlivá prevádzka.
  • Technológia riadenia pohonu motora: Vysoko účinný vysokorýchlostný jednosmerný motor a systém riadenia serva, ktoré majú maximálnu energiu motora a automaticky kompenzujú otáčky hriadeľa, čím sa dosahuje stabilný rozbeh, spoľahlivá prevádzka a funkcia automatickej regulácie dynamickej energie.
  • Technológia rotorového kompozitného uhlíkového vlákna: Vyrobené kombináciou vysokopevnej zliatiny hliníka a ľahkých uhlíkových vlákien. charakterizované veľkým znížením hmotnosti a veľkým zlepšením pevnosti, takže sú dosiahnuté ciele vysokej rýchlosti otáčania, vysokého výkonu a vysokej spoľahlivosti.
  • Technológia odolná voči korózii: Povrchy dielov v komorách sú ošetrené špeciálnym procesom, aby povrchy dlhodobo odolávali korózii spôsobenej korozívnymi plynmi v polovodičových výrobných procesoch. Okrem toho sú inertné plyny, ako je N2, úplne naplnené v hriadeli čerpadiel na ochranu častí s nízkym vákuom v čerpadlách, takže je realizovaná funkcia stabilne vyčerpávajúcich korozívnych plynov na dlhé obdobia.
  • Systém regulácie teploty vykurovania: vybavené elektrickým ohrievačom a regulátorom teploty, chladiacu vodu, ohrev vzduchových kostí, elektrický ohrev a teplo prenášané ochrannými plynmi je možné monitorovať a ovládať počas prevádzky, teplotu v čerpadlách je možné udržiavať na určitej hodnote dlhodobo, niektoré plynné látky sa pri normálnej teplote nepremieňajú na pevné látky a neukladajú sa v pumpách a je možné splniť požiadavky na špeciálny proces, ako je leptanie.

  • Predchádzajúce:
  • Ďalšie:

  • Napíšte sem svoju správu a pošlite nám ju

    Kategórie produktov