Magneticky levitované molekulárne pumpy sú čerpadlá, ktorých hriadeľ je podporovaný magnetickou silou.
Magneticky levitované molekulárne pumpy série sú zariadenie na generovanie vákua vyvinuté spoločnosťou KYKY na splnenie požiadaviek aplikácií v oblastiach modernej výroby polovodičov, výroby čipov, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov.
Výhody:
1. Nulové trenie počas prevádzky a nízka spotreba energie
2. Jednoduché získanie skutočne čistého vysokého vákua a ultra vysokého vákua bez mazania čerpadiel
3. schopné dlhodobého odsávania korozívnych plynov
4. Vysoká bezpečnosť a dlhá životnosť vďaka ochrane ložísk presnými keramickými guličkami
5. funkcia generujúca energiu v prípade náhleho vypnutia
6. Bez trenia
7. Bez znečistenia
8. Bezúdržbový
9. Nízke vibrácie
10. inštalované v akejkoľvek orientácii.
Aplikácie:
Sériové magneticky levitované molekulárne pumpy sa používajú hlavne v oblastiach výroby polovodičov, výroby svoriek, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov, najmä na extrakciu korozívnych plynov existujúcich v implantáciách leptov, CVD, PVD a iónov a plynov ľahko koagulovateľných pri normálnej teplote.
Technické údaje:
Model |
CXF-320/3001E |
Rýchlosť čerpadla (l/s, vzduch) |
3200 |
Pomer kompresie |
> 1 × 108 |
Maximálne vákuum (Pa) |
≤5 × 10-7 |
Vstupná príruba |
ISO-F 320 |
Výstupná príruba |
KF 40 |
Rýchlosť otáčania (ot / min) |
24000 |
Čas rozbehu (min) |
12 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Spätné čerpadlo (L/s) |
15 |
Montáž alebo razenie |
akýkoľvek |
Spôsob chladenia |
Voda |
Hmotnosť (kg) (s ovládačom) |
75 |
Technológie:
- Technológia riadenia magnetického ložiska: 5-osový magneticky levitovaný, založený na pokročilej medzinárodnej teórii riadenia, aby zaručil také významné výhody vysokorýchlostného hriadeľa, ako je stabilná levitovaná a spoľahlivá prevádzka.
- Technológia riadenia pohonu motora: Vysoko účinný vysokorýchlostný jednosmerný motor a systém riadenia serva, ktoré majú maximálnu energiu motora a automaticky kompenzujú otáčky hriadeľa, čím sa dosahuje stabilný rozbeh, spoľahlivá prevádzka a funkcia automatickej regulácie dynamickej energie.
- Technológia rotorového kompozitného uhlíkového vlákna: Vyrobené kombináciou vysokopevnej zliatiny hliníka a ľahkých uhlíkových vlákien. charakterizované veľkým znížením hmotnosti a veľkým zlepšením pevnosti, takže sú dosiahnuté ciele vysokej rýchlosti otáčania, vysokého výkonu a vysokej spoľahlivosti.
- Technológia odolná voči korózii: Povrchy dielov v komorách sú ošetrené špeciálnym procesom, aby povrchy dlhodobo odolávali korózii spôsobenej korozívnymi plynmi v polovodičových výrobných procesoch. Okrem toho sú inertné plyny, ako je N2, úplne naplnené v hriadeli čerpadiel na ochranu častí s nízkym vákuom v čerpadlách, takže je realizovaná funkcia stabilne vyčerpávajúcich korozívnych plynov na dlhé obdobia.
- Systém regulácie teploty vykurovania: vybavené elektrickým ohrievačom a regulátorom teploty, chladiacu vodu, ohrev vzduchových kostí, elektrický ohrev a teplo prenášané ochrannými plynmi je možné monitorovať a ovládať počas prevádzky, teplotu v čerpadlách je možné udržiavať na určitej hodnote dlhodobo, niektoré plynné látky sa pri normálnej teplote nepremieňajú na pevné látky a neukladajú sa v pumpách a je možné splniť požiadavky na špeciálny proces, ako je leptanie.