Technológie:
- Technológia riadenia magnetického ložiska: 5-osový magneticky levitovaný, založený na pokročilej medzinárodnej teórii riadenia, aby zaručil také významné výhody vysokorýchlostného hriadeľa, ako je stabilná levitovaná a spoľahlivá prevádzka.
- Technológia riadenia pohonu motora: Vysoko účinný vysokorýchlostný jednosmerný motor a systém riadenia serva, ktoré majú maximálnu energiu motora a automaticky kompenzujú otáčky hriadeľa, čím sa dosahuje stabilný rozbeh, spoľahlivá prevádzka a funkcia automatickej regulácie dynamickej energie.
- Technológia rotorového kompozitného uhlíkového vlákna: Vyrobené kombináciou vysokopevnej zliatiny hliníka a ľahkých uhlíkových vlákien. charakterizované veľkým znížením hmotnosti a veľkým zlepšením pevnosti, takže sú dosiahnuté ciele vysokej rýchlosti otáčania, vysokého výkonu a vysokej spoľahlivosti.
- Technológia odolná voči korózii: Povrchy dielov v komorách sú ošetrené špeciálnym procesom, aby povrchy dlhodobo odolávali korózii spôsobenej korozívnymi plynmi v polovodičových výrobných procesoch. Okrem toho sú inertné plyny, ako je N2, úplne naplnené v hriadeli čerpadiel na ochranu častí s nízkym vákuom v čerpadlách, takže je realizovaná funkcia stabilne vyčerpávajúcich korozívnych plynov na dlhé obdobia.
- Systém regulácie teploty vykurovania: vybavené elektrickým ohrievačom a regulátorom teploty, chladiacu vodu, ohrev vzduchových kostí, elektrický ohrev a teplo prenášané ochrannými plynmi je možné monitorovať a ovládať počas prevádzky, teplotu v čerpadlách je možné udržiavať na určitej hodnote dlhodobo, niektoré plynné látky sa pri normálnej teplote nepremieňajú na pevné látky a neukladajú sa v pumpách a je možné splniť požiadavky na špeciálny proces, ako je leptanie.
Výhody:
Tieto čerpadlá majú výhody, ako je nulové trenie počas prevádzky a nízka spotreba energie, ľahké získanie skutočne čistého vysokého vákua a ultra vysokého vákua bez mazania čerpadiel, schopné dlhodobého odsávania korozívnych plynov, vysoká bezpečnosť a dlhá životnosť vďaka ochrane ložísk s presnými keramickými guľôčkami a funkciou generovania energie v prípade náhleho vypnutia. Má výhody bez trenia, znečistenia a údržby a s nízkymi vibráciami a môže byť inštalovaný v akejkoľvek orientácii.
Aplikácie:
Extrakcia korozívnych plynov existujúcich v implantátoch leptania, CVD, PVD a iónov a plynov sa ľahko zráža pri normálnej teplote v oblasti výroby polovodičov, výroby svoriek, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov, najmä.
Technické údaje:
Model |
CXF-250/2301 |
Rýchlosť čerpadla (l/s, vzduch) |
2200 |
Pomer kompresie |
> 1 × 107 |
Maximálne vákuum (Pa) |
≤2 × 10-7 |
Vstupná príruba |
DN250 ISO F |
DN250 CF |
Výstupná príruba |
KF 40 |
Rýchlosť otáčania (ot / min) |
30000 |
Čas rozbehu (min) |
8 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Spätné čerpadlo (L/s) |
15 |
Montáž alebo razenie |
akýkoľvek |
Spôsob chladenia |
Voda |
Hmotnosť (kg) (s ovládačom) |
58 |