Čerpadlo Maglev, CXF-250/2301E, ISO-K/CF, vodné chladenie na palube

Stručný opis:

Magneticky levitované molekulárne pumpy sú čerpadlá, ktorých hriadeľ je podporovaný magnetickou silou a spĺňa aplikačné požiadavky v oblastiach modernej výroby polovodičov, výroby čipov, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov.


Detail produktu

Štítky produktu

Technológie:

  • Technológia riadenia magnetického ložiska: 5-osový magneticky levitovaný, založený na pokročilej medzinárodnej teórii riadenia, aby zaručil také významné výhody vysokorýchlostného hriadeľa, ako je stabilná levitovaná a spoľahlivá prevádzka.
  • Technológia riadenia pohonu motora: Vysoko účinný vysokorýchlostný jednosmerný motor a systém riadenia serva, ktoré majú maximálnu energiu motora a automaticky kompenzujú otáčky hriadeľa, čím sa dosahuje stabilný rozbeh, spoľahlivá prevádzka a funkcia automatickej regulácie dynamickej energie.
  • Technológia rotorového kompozitného uhlíkového vlákna: Vyrobené kombináciou vysokopevnej zliatiny hliníka a ľahkých uhlíkových vlákien. charakterizované veľkým znížením hmotnosti a veľkým zlepšením pevnosti, takže sú dosiahnuté ciele vysokej rýchlosti otáčania, vysokého výkonu a vysokej spoľahlivosti.
  • Technológia odolná voči korózii: Povrchy dielov v komorách sú ošetrené špeciálnym procesom, aby povrchy dlhodobo odolávali korózii spôsobenej korozívnymi plynmi v polovodičových výrobných procesoch. Okrem toho sú inertné plyny, ako je N2, úplne naplnené v hriadeli čerpadiel na ochranu častí s nízkym vákuom v čerpadlách, takže je realizovaná funkcia stabilne vyčerpávajúcich korozívnych plynov na dlhé obdobia.
  • Systém regulácie teploty vykurovania: vybavené elektrickým ohrievačom a regulátorom teploty, chladiacu vodu, ohrev vzduchových kostí, elektrický ohrev a teplo prenášané ochrannými plynmi je možné monitorovať a ovládať počas prevádzky, teplotu v čerpadlách je možné udržiavať na určitej hodnote dlhodobo, niektoré plynné látky sa pri normálnej teplote nepremieňajú na pevné látky a neukladajú sa v pumpách a je možné splniť požiadavky na špeciálny proces, ako je leptanie.

Výhody:

Tieto čerpadlá majú výhody, ako je nulové trenie počas prevádzky a nízka spotreba energie, ľahké získanie skutočne čistého vysokého vákua a ultra vysokého vákua bez mazania čerpadiel, schopné dlhodobého odsávania korozívnych plynov, vysoká bezpečnosť a dlhá životnosť vďaka ochrane ložísk s presnými keramickými guľôčkami a funkciou generovania energie v prípade náhleho vypnutia. Má výhody bez trenia, znečistenia a údržby a s nízkymi vibráciami a môže byť inštalovaný v akejkoľvek orientácii.

Aplikácie:

Extrakcia korozívnych plynov existujúcich v implantátoch leptania, CVD, PVD a iónov a plynov sa ľahko zráža pri normálnej teplote v oblasti výroby polovodičov, výroby svoriek, priemyselného pokovovania a vedeckých nástrojov, najmä.

Technické údaje:

Model CXF-250/2301
Rýchlosť čerpadla (l/s, vzduch) 2200
Pomer kompresie > 1 × 107
Maximálne vákuum (Pa) ≤2 × 10-7
Vstupná príruba DN250 ISO F
DN250 CF
Výstupná príruba KF 40
Rýchlosť otáčania (ot / min) 30000
Čas rozbehu (min) 8
VIB (mm) <0,05
Spätné čerpadlo (L/s) 15
Montáž alebo razenie akýkoľvek
Spôsob chladenia Voda
Hmotnosť (kg) (s ovládačom) 58

  • Predchádzajúce:
  • Ďalšie:

  • Napíšte sem svoju správu a pošlite nám ju

    Kategórie produktov